主な実験装置

・成膜装置
  マイクロ波プラズマCVD
  RFプラズマCVD
  熱CVD
  分子線エピタキシー (MBE)

・デバイスプロセス装置
  マスクアライナー
  真空蒸着装置

・有機デバイス作製
  グローブボックス
  蒸着装置付グローブボックス

・評価装置
  フォトルミネセンス測定装置
  ラマン散乱分光装置
  紫外可視分光光度計
  半導体パラメータアナライザ
  走査型電子顕微鏡 (SEM)
  FT-IR測定装置

・太陽電池評価装置
  ソーラーシミュレータ
  定エネルギー分光装置

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