主な実験装置

・成膜装置
　　マイクロ波プラズマCVD
　　RFプラズマCVD
　　熱CVD
　　分子線エピタキシー (MBE)

・デバイスプロセス装置
　　マスクアライナー
　　真空蒸着装置

・有機デバイス作製
　　グローブボックス
　　蒸着装置付グローブボックス

・評価装置
　　フォトルミネセンス測定装置
　　ラマン散乱分光装置
　　紫外可視分光光度計
　　半導体パラメータアナライザ
　　走査型電子顕微鏡 (SEM)
　　FT-IR測定装置

・太陽電池評価装置
　　ソーラーシミュレータ
　　定エネルギー分光装置

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